Масс-спектрометр ЛЮМАС-30

Времяпролетный масс-спектрометр с газоразрядной ионизацией ЛЮМАС-30 предназначен для прямого элементного анализа монолитных, тонкослойных и порошковых материалов (металлов, полупроводников и диэлектриков, а также объектов со смешанной слоистой структурой диэлектрик-металл, металл-полупроводник и диэлектрик-полупроводник).

Достоинства:

• возможность регистрации большого числа спектров за время распыления одной пробы, что позволяет улучшить отношение сигнал/шум за счет статистического усреднения зарегистрированных спектров
• прямой анализ твердых проб, включая растворенные в пробах газы с высокоэкономичным расходом рабочего газа и вещества пробы за счет согласования во времени импульсной ионизации с времяпролетной регистрацией масс-спектра, что позволяет существенно снизить пределы обнаружения
• высокая эффективность распыления и ионизации элементов пробы в импульсном разряде и, как следствие, низкие пределы обнаружения (50 - 200 ppb)
• большой динамический диапазон определяемых содержаний элементов (до 7 порядков величины), что на 2-3 порядка лучше пределов обнаружения других методов прямого анализа твердых проб
• высокоэффективное подавление газовых компонент за счет временной дискриминации и использования водорода, как реакционного газа
• широкий круг анализируемых объектов, включающий в себя, кроме металлов, диэлектрики и полупроводники. Эта возможность обеспечивается использованием коротких (1-80 мкс) импульсов разрядного тока, позволяющих распылять непроводящие и слабопроводящие электрический ток материалы
• возможность прямого масс-спектрального анализа послойных неоднородностей самых разнообразных объектов (с послойным разрешением около 3 нм)
• возможность прямого масс-спектрального анализа многослойных тонкопленочных покрытий
• отсутствие растворения в процедуре пробоподготовки.

Анализируемые объекты:

• металлы
• полупроводниковые материалы
• диэлектрики
• объекты со смешанной слоистой структурой диэлектрик-металл, металл-полупроводник и диэлектрик-полупроводник (например, коррозионные пленки на поверхности металла)
• порошковые пробы.

Области применения спектрометра ЛЮМАС-30:

• Атомная промышленность (элементный и изотопный анализ радионуклидов, продуктов распада, отходов переработки ядерного топлива); 
• Медицина, научные исследования (изотопный анализ при производстве изотопно -чистых материалов);
• Микроэлектроника (анализ сверхмалых содержаний примесей в полупроводниковых материалах (Si, Ge, AsGa...);
• Производство особо чистых материалов (элементный анализ содержания примесей при производстве металлов, оптических стекол, оптоволокна, сплавов, напыленных поверхностей);
• Металлургия, нефтехимия (элементный анализ при производстве сплавов цветных металлов и сталей специального назначения с нормируемым содержанием микропримесей);
• Химия, микроэлектроника, оптика (химический синтез слоистых структур для производства полупроводниковых, оптоволоконных и каталитических материалов).

Технические характеристики:

Балластный газ	Ar или смесь Ar с He и H
Вакуумная система	2 турбомолекулярных насоса (250 л/мин и 70 л/мин)
Время анализа одной пробы	3 - 15 мин
Время выхода на рабочий режим	20 мин
Диапазон измеряемых масс	1 - 400 a.e.m.
Динамический диапазон	7 порядков
Питание	220 В
Погрешность определения	5 - 10 %
Послойное разрешение	3 нм
Потребляемая мощность	3000 ВА
Предел обнаружения	50 - 200 ppb
Расход газа	1 балллон (40 л) в год
Производительность	20 проб в час

 

Написать отзыв

Ваше Имя:


Ваш отзыв: Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст.

Оценка: Плохо           Хорошо

Введите код, указанный на картинке: